电容式测微器4mh838电子-技术材料-电子元件-电路图-技术利用网站-基础知识-原理-维修-作用-参数-电子元器件符号-各种图纸
利用电容效应，当对象至传感器间之距离转变时，即会转变电容值，利用此一原理可撷取待测对象细微几何形状之尺寸。由于电容效应存在于各个物质间，因此在传感器的设计上必须考虑到噪声防治的掩护措施，如图(a)所示之结构图在传感器外围加上两层封装以杜绝外界干扰，图(b)则为传感器的等效电路图。电容式测微器由于利用电容效应因此分辨率相当高，一般电容式传感器的量测领域为±0.13mm，分辨率为0.1μm，正确度则为全刻度之0.1-0.2%，同时电容式测微器为非接触式量测，因此理论上寿命为无穷长。4mh838电子-技术材料-电子元件-电路图-技术利用网站-基础知识-原理-维修-作用-参数-电子元器件符号-各种图纸
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(a)结构封装示意图4mh838电子-技术材料-电子元件-电路图-技术利用网站-基础知识-原理-维修-作用-参数-电子元器件符号-各种图纸
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(b)等效电路图4mh838电子-技术材料-电子元件-电路图-技术利用网站-基础知识-原理-维修-作用-参数-电子元器件符号-各种图纸
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